精密磨床辅助工件平台的设计

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为补偿精密磨床砂轮的振动对加工精度的影响,设计了一台作为磨床辅助进给装置的微进给工件平台.该工作平台采用压电陶瓷作为驱动机构,弹性铰链作为预紧机构.为了避免压电陶瓷驱动器受到弯矩的作用,在压电陶瓷驱动器的顶部和动平台之间加了一个球形接头.利用弹性铰链的预紧力,实现驱动器和动平台之间的赫兹接触.高精度的电容式位移传感器用来测量动平台的实际输出并形成反馈控制系统.为了消除压电陶瓷的迟、蠕变等非线性,采用了非线性PID控制算法来实现微进给平台的实时控制.采用跟踪微分器对信号进行跟踪并得到其微分信号,提高了控制系
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