ф0.5毫米盲孔的测量方法及测量装置

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国内外小孔测量仪器在小于φ1mm盲孔的精密测量方面仍是空白。为解决此项“测量烦恼”,选择一点式接触瞄准;电学放大;二等标准量块作标准量;五个自由度,独立可调的两个并联工作台;又用交换法消除配对测头有效直径差后组成测量装置,其洲量极限误差±30max=0.132μm,达到国内外小盲孔测量精度先进指标。 Hole measuring instruments at home and abroad in less than φ1mm blind hole precision measurement is still blank. To solve this “measurement trouble”, choose a point of contact aiming; electrical amplification; second-class standard block as a standard quantity; five degrees of freedom, independently adjustable two parallel table; exchange method to eliminate matching probe Effective diameter difference after the composition of the measuring device, the limit of error Chau Chau ± 30max = 0.132μm, small blind to reach the advanced measurement accuracy indicators.
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