【摘 要】
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Microengines are regarded as the potential replacements for batteries. Aimed at the unsatisfactory thermal property of silicon used in the combustion chambers,
【机 构】
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Institute of Ultra-precision Optoelectronic Instrument Engineering,School of Engineering
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Microengines are regarded as the potential replacements for batteries. Aimed at the unsatisfactory thermal property of silicon used in the combustion chambers, ceramics are chosen as the construction material in this paper. The fabrication process where alumina has been chosen as the microengine material is discussed. Vigorous FEA has been carried out, and it is found that the material satisfies the stress and deformation require-ments of the design. Then the alumina fabrication process is described. Soft reusable polydimethylsiloxane (PDMS) moulds are produced from SU-8 resist masters, and alumina microengine parts are produced using the PDMS moulds. Images of the ceramic components show that the fabrication satisfies the design requirements.
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