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TFT—LCD取向层工艺及其关键参数

来源 :现代显示 | 被引量 : 0次 | 上传用户：wkylyf001

【摘 要】

：

综述了国内最先进的第5代TFT-LCD生产线的取向膜工艺。并探讨了各取向膜工艺参数对取向膜厚度和预倾角大小的影响，从而根据产品设计需要改变工艺参数指导实际生产。

【作 者】

：

车春城 王丹 李军建 

【机 构】

：

中国电子科技大学,北京京东方光电科技有限公司

【出 处】

：

现代显示

【发表日期】

：

2006年9期

【关键词】

：

取向层 聚酰亚胺膜 涂布 摩擦 膜厚 预倾角 oriented layer  polyimide film  coating  rubbing  film th 

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综述了国内最先进的第5代TFT-LCD生产线的取向膜工艺。并探讨了各取向膜工艺参数对取向膜厚度和预倾角大小的影响，从而根据产品设计需要改变工艺参数指导实际生产。

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