【摘 要】
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随着光学元件口径的增大,光学系统对精度的要求提高,传统干涉仪检测手段已经不再满足要求。为了提高制造效率,需要适当的在线检测技术和多工段检测手段。结合现阶段系统研制
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随着光学元件口径的增大,光学系统对精度的要求提高,传统干涉仪检测手段已经不再满足要求。为了提高制造效率,需要适当的在线检测技术和多工段检测手段。结合现阶段系统研制的需要,介绍了子孔径拼接干涉检测技术、数字刀口检测技术以及红外干涉检测技术,分别对其基本原理和具体应用进行了分析。
With the increase of the diameter of the optical element, the accuracy of the optical system is increased, and the traditional interferometer detection means no longer meet the requirements. In order to improve manufacturing efficiency, the need for appropriate online testing technology and multi-section detection means. Combined with the needs of system development at the present stage, this paper introduces subaperture splicing interference detection technology, digital knife edge detection technology and infrared interference detection technology, and analyzes its basic principle and application.
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