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Zn掺杂Sn2S3薄膜的特性

来源 :功能材料 | 被引量 : 0次 | 上传用户：emajor

【摘 要】

：

高纯Sn和S粉按1∶0.41（质量分数,%）配比,均匀掺入9（质量分数,%）的高纯Zn粉,单源共蒸发沉积薄膜后再进行热处理,得到Sn2S3∶Zn薄膜。XRD分析显示,380℃,55min热处理得到简单正交晶

【作 者】

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李云 李健 王艳 

【机 构】

：

内蒙古大学物理科学与技术学院,内蒙古自治区高等学校半导体光伏技术重点实验室

【出 处】

：

功能材料

【发表日期】

：

2012年22期

【关键词】

：

Sn2S3薄膜 Zn掺杂 单源共蒸发 热处理 电、光特性 Sn283 thin film  Zn-doped  single source co-evapora 

【基金项目】

：

内蒙古自治区自然科学资助项目（2009MS0109）, 内蒙古自治区高等学校科技资助项目（NJ10017）

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高纯Sn和S粉按1∶0.41（质量分数,%）配比,均匀掺入9（质量分数,%）的高纯Zn粉,单源共蒸发沉积薄膜后再进行热处理,得到Sn2S3∶Zn薄膜。XRD分析显示,380℃,55min热处理得到简单正交晶系的纯Sn2S3薄膜。掺Zn（9（质量分数,%））的薄膜经370℃热处理15min得到的薄膜仍属简单正交晶系。掺Zn后Sn2S3薄膜的表面均匀和致密性变好,平均晶粒尺寸从未掺Zn时的35.69nm增加到58.80nm。Sn2S3薄膜的导电类型均为N型,掺Zn后薄膜的电阻率为6.05×101（Ω

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