【摘 要】
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基于反射镜组件的刚度、强度和热尺寸稳定性，采用背部4点支撑方案设计了反射镜组件。对反射镜组件进行的静、动态刚度及热尺寸稳定性分析结果表明，反射镜在重力载荷和4℃温升载
【机 构】
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长春工业大学机电工程学院,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
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基于反射镜组件的刚度、强度和热尺寸稳定性，采用背部4点支撑方案设计了反射镜组件。对反射镜组件进行的静、动态刚度及热尺寸稳定性分析结果表明，反射镜在重力载荷和4℃温升载荷及温度和重力耦合变形下，面形精度达到PV≤λ／10，RMS≤λ／50（λ=400nm）。模态分析结果证明该结构有足够的动态刚度。
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