【摘 要】
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采用sol-gel法制备了SnO2薄膜.研究了不同的实验条件对薄膜阻值的影响.利用XRD、XPS分析了薄膜的晶体结构和晶粒尺寸.利用这种低阻SnO2薄膜制作的热线型气敏元件对H2S具有较
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采用sol-gel法制备了SnO2薄膜.研究了不同的实验条件对薄膜阻值的影响.利用XRD、XPS分析了薄膜的晶体结构和晶粒尺寸.利用这种低阻SnO2薄膜制作的热线型气敏元件对H2S具有较好的气敏特性.
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