【摘 要】
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叙述了用离子束溅射镀膜机ＯＸＦＯＲＤ进行Ｘ射线长波段多层膜实验及制备Ｘ射线多层膜光学元件方面的工作。简述离子束溅射镀膜机的工作原理，Ｘ射线多层膜的制备过程，主要工艺参数，以及用Ｘ射线小角
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械研究所应用光学国家重点实验室!长春130022,中国科学院长春光学精密机械研究所应用光学国家重点实验室!长春130022,中国科学院长春光学精密机械研究所应用光学国家重点实验
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叙述了用离子束溅射镀膜机ＯＸＦＯＲＤ进行Ｘ射线长波段多层膜实验及制备Ｘ射线多层膜光学元件方面的工作。简述离子束溅射镀膜机的工作原理，Ｘ射线多层膜的制备过程，主要工艺参数，以及用Ｘ射线小角衍射仪对制备样品周期结构的检测和用软Ｘ射线反射率计测反射率的部分结果。
Describes the use of ion beam sputtering coating machine OXFORD X-ray multi-layer film experiments and the preparation of X-ray multilayer film optics work. The working principle of ion beam sputtering coating machine, the preparation process of X-ray multilayers, the main process parameters, as well as the detection of the periodic structure of samples by X-ray small angle diffraction and the measurement of reflectance by soft X-ray reflectance Part of the result.
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