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微／纳尺度接触问题已成为制约微机电系统发展的关键性问题。针对这一问题，以纳米压痕技术为基础，首先分别应用赫兹理论和弹塑性理论分析了不同阶段的接触过程，然后运用有限元分析软件Ansys建立了有限元分析模型，进行了不同载荷下的接触分析，获得了相应的应力和应变分布规律等。然后利用纳米压痕技术进行了实验对比分析。证明了两种研究方式的力学规律一致。从而证明了有限元方法在微／纳尺度接触力学研究方面的可行性。