基于功能结构的MEMS弹簧设计方法

来源 :纳米技术与精密工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:lfshiyi
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平面微型弹簧是微机械电子系统(MEMS)中一种常用的弹性元件,其结构形状的不同将显著影响其刚度系数.针对在限定空间MEMS弹簧设计这一问题,提出了对弹簧进行结构分解和替换的设计方法.基于力学中的能量法得出了其功能结构形状与刚度系数的关系;理论分析结果表明,功能结构的替换可以实现在限定空间内弹簧刚度系数的改变.用有限元分析软件进行了仿真,其结果和理论分析吻合,验证了这一设计方法的正确性.
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