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锗衬底主要用于制备多结砷化镓太阳电池,随着100 mm锗衬底材料厚度的进一步降低,减薄加工过程中极容易造成表面损伤及崩边,导致加工碎片率的上升。研究了精密磨削加工中的锗片边缘质量控制,探究了顺磨、逆磨两种不同磨削减薄方式对锗片边缘质量的影响,探讨了锗片磨削减薄过程中的变形机理。结果表明,采用逆磨的方式进行磨削减薄有利于控制锗片边缘形貌、提高机械强度以及保留磨削纹路用于背电极制作。