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通过试验数据和理论分析，详细论述了平面靶是如何将靶材粒子沉积到玻璃表面，形成均匀膜层的机理及对设计和生产的指导意义。
浅析玻璃膜层的形成机理及其实用意义
【摘 要】
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通过试验数据和理论分析，详细论述了平面靶是如何将靶材粒子沉积到玻璃表面，形成均匀膜层的机理及对设计和生产的指导意义。
【机 构】
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洛玻集团洛阳晶润镀膜玻璃有限公司
【出 处】
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玻璃
【发表日期】
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2006年4期
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