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本文通过有限元方法对Ｃ型压力传感器的应力分析，给出了传感器结构偏差对压力传感器的性能尤其是灵敏度的影响。
C型压力传感器结构偏差对传感器灵敏度的影响
【摘 要】
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本文通过有限元方法对Ｃ型压力传感器的应力分析，给出了传感器结构偏差对压力传感器的性能尤其是灵敏度的影响。
【机 构】
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沈阳仪器仪表工艺研究所,沈阳仪器仪表工艺研究所沈阳市110043,沈阳市110043,沈阳市110043
【出 处】
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仪表技术与传感器
【发表日期】
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1996年9期
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