【摘 要】
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本文研究了硼磷硅玻璃(BPSG)膜在俄歇电子谱(AES)分析中电子束和离子束辐照效应.结果表明,能量电子和离子非常容易引起辐照损伤.电子束辐照会引起还原和脱附效应以及磷硼的表
【机 构】
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中国科学院半导体研究所,比利时大学际微电子中心 北京100083
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本文研究了硼磷硅玻璃(BPSG)膜在俄歇电子谱(AES)分析中电子束和离子束辐照效应.结果表明,能量电子和离子非常容易引起辐照损伤.电子束辐照会引起还原和脱附效应以及磷硼的表面分凝;离子束辐照仅仅引起还原效应,不会产生磷和硼的表面堆积现象.这说明磷和硼的表面分凝是与低能电子组成的表面负电荷有关.
In this paper, the electron beam and ion beam irradiation effects of the BPSG film in Auger electron spectroscopy (AES) are studied.The results show that the energy electrons and ions are very apt to cause the radiation damage.The electron beam irradiation will cause Reduction and desorption effects, as well as the surface decondensation of phosphorus and boron; the ion beam irradiation only caused the reduction effect, and no surface accumulation of phosphorus and boron was observed, indicating that the surface decondensation of phosphorus and boron was negative Charge related.
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