玻璃上低温沉积碳纳米管薄膜及其场发射研究

来源 :功能材料与器件学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:linlin0433
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本文从事的研究是碳纳米管(CNT)薄膜的制备及场发射效果分析。在普通玻璃衬底上用磁控溅射方法镀上金属钛层,用含铁杂质的碳化硅微粒对钛层进行抛光。利用微波等离子体化学气相沉积法,在小于500℃衬底温度下快速制备出CNT膜。通过扫描电子显微镜、拉曼光谱,分析了薄膜的表面形貌和结构特性。通过二级管结构测试了聚晶膜的场致电子发射特性,对于制备的碳膜,在电场?时,最大场发射电流密度达?。并对其发射机理进行了研究。 The research in this paper is the preparation of carbon nanotube (CNT) film and the field emission analysis. A common titanium substrate is coated with a metal titanium layer by magnetron sputtering and the titanium layer is polished with silicon carbide particles containing iron impurities. CNT films were prepared rapidly by microwave plasma chemical vapor deposition at substrate temperature less than 500 ℃. The surface morphology and structure of the films were analyzed by scanning electron microscopy and Raman spectroscopy. The field emission characteristics of the polycrystalline films were tested by the diode structure. For the prepared carbon films, the maximum field emission current density reached? And its launch mechanism has been studied.
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