【摘 要】
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以硅基加工为研究对象,提出了一种基于特征的多层次体面相结合的微器件信息描述模型与相应的输入方法.该方法将微器件的三维几何结构按加工层进行分解,每一层由层主特征和若
【基金项目】
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国家自然科学基金，教育部科学技术基金
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以硅基加工为研究对象,提出了一种基于特征的多层次体面相结合的微器件信息描述模型与相应的输入方法.该方法将微器件的三维几何结构按加工层进行分解,每一层由层主特征和若干辅助特征组成,建立了完整的微器件三维和二维表面制造特征,并与硅基微加工方法相联系,反映了微加工工艺的约束条件,且具有确切的加工形状.同时,将微器件信息描述为总体-加工层-特征-属性4级模式,在制造特征输入过程中,形成特征索引树及特征之间的关系,因此很好地表达了微器件的几何信息和工艺信息,为随后确定微器件的加工方法和工艺顺序提供了信息基础.
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