用于纳米计量的双元扫描隧道显微镜

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研制了用于纳米计量的双元扫描隧道显微镜,介绍了双元扫描隧道显微镜的原理和仪器系统,利用该系统对原子晶格图象进行扫描,验证了纳米计量的可行性,给出了部分被测样品的纳米计量结果。
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