【摘 要】
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一、引言 关于在未来的微电子技术中是Si材料还是GaAs材料占主要地位,80年代初人们就展开了争论。但没有最后结果,却诞生了新的技术:GaAs/Si兼容技术。这一技术从开始研究至
【机 构】
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东南大学微电子中心,东南大学微电子中心
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一、引言 关于在未来的微电子技术中是Si材料还是GaAs材料占主要地位,80年代初人们就展开了争论。但没有最后结果,却诞生了新的技术:GaAs/Si兼容技术。这一技术从开始研究至今,不过五年时间,但已成为微电子领域最受重视的方向之一。
I. INTRODUCTION As early as the early 1980s, people began to argue about whether Si or GaAs material will dominate microelectronics in the future. But no final result, but the birth of a new technology: GaAs / Si compatible technology. This technology from the beginning of research so far, but five years, but has become one of the most important direction in the field of microelectronics.
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