论文部分内容阅读
对硅片退火设备的结构及功能进行了大量的改进，介绍了设备的工作原理、结构特点及达到的技术指标。研究了硅片在真空炉中的退火工艺。该设备的研究提升了硅片退火处理的稳定性及工艺性，达到了工艺要求的效果。
移动式硅片退火设备的研制
【摘 要】
：
对硅片退火设备的结构及功能进行了大量的改进，介绍了设备的工作原理、结构特点及达到的技术指标。研究了硅片在真空炉中的退火工艺。该设备的研究提升了硅片退火处理的稳定性
【机 构】
：
中国电子科技集团公司第二研究所
【出 处】
：
电子工业专用设备
【发表日期】
：
2014年6期
其他文献
飞针测试系统是用来测量混合电路板、LTCC基板、PCB板的各网络间开路、短路、绝缘以及电容的专业电子芯片检测设备。针对飞针测试系统中测试坐标点的修正提出了一种解决方法,
介绍了常用的光刻版清洗工艺,并详细讲解了全自动光刻版清洗机的工作过程。同时,简单介绍了为提高光刻版清洗效果而设计的浸泡系统、药液供给与循环系统和温控系统。
爸爸妈妈要去开会，一大早把我扔在学校对面就走了。我穿过马路准备进校，却被保安大爷拦了下来：“现在才七点钟，学校得七点半开门，你等着吧！” 我无聊地站在学校门口，竟然观看了一场精彩的街头“运动会”。 踢足球 一个身穿中学校服的男孩从我面前经过。他拿着一个空饮料瓶，左揉右捏，很快就把饮料瓶捏扁了。然后，他把饮料瓶放在地上，退后几步，飞起一脚，将饮料瓶朝对面的垃圾桶踢去。饮料瓶在空中划出一道弧线，
介绍了离子注入技术的特点及其原理,在分析介绍其设备种类的基础上,简要概述了离子注入设备的基本结构,详细分析了影响注入工艺的各种因素,根据多年的设备维护经验,总结归纳
针对晶圆自动传输过程中,片盒内卡槽中空片、双片现象,导致晶圆自动传输失败,给出了晶圆自动扫描、自动识别晶圆存放状态的算法,并通过具体实验数据分析,确定了该算法的可行