电子信息产业的核心是集成电路,作为集成电路制造的原材料,晶圆特征尺寸越来越小,而每个晶圆的直径却越来越大以节省制造成本,因此......

为保证晶圆的平稳快速传输,基于末端位姿调整算法搭建了晶圆传输实验平台,并根据晶圆传输过程中的受力情况得到了末端执行器角度与......

研究了离子注入设备的结构组成和工艺流程,介绍了设备控制系统的架构和功能设计思路.利用有限状态机中的层级状态机思路,建立了晶......

集成电路(Integrated Circuit,IC)产业是信息社会经济发展的基石,社会进步的基础,国际竞争的筹码和国家安全的保障。而IC制造装备......

针对晶圆自动传输过程中,片盒内卡槽中空片、双片现象,导致晶圆自动传输失败,给出了晶圆自动扫描、自动识别晶圆存放状态的算法,并......

针对离子注入机的晶圆传输过程,提出了一种提高晶圆传输效率的方法,在晶圆自动传输的基础上,对机械手传输动作、电机动作进行优化,......

近场超声悬浮(Near Field Acoustic Levitation简称NFAL)是近年来应用于半导体制造与微机电系统（MEMS）技术领域中非接触式支撑与传输......

晶圆传输机器人是集成电路(IC)制造领域的关键设备之一,承担着晶圆的精确定位与快速、平稳的搬运任务。末端执行器是晶圆传输机器......