【摘 要】
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获得均匀、平整的硅基薄膜是制备出高灵敏度的微型电容式压力传感器的关键步骤．首先在理论分析的基础上，确定了微型电容式压力传感器的基本参数，而后在制备中，发展了一种新型的硅
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获得均匀、平整的硅基薄膜是制备出高灵敏度的微型电容式压力传感器的关键步骤．首先在理论分析的基础上，确定了微型电容式压力传感器的基本参数，而后在制备中，发展了一种新型的硅基薄膜制作方法，即利用硅一玻璃键合工艺，结合浓KOH溶液超声腐蚀与化学机械抛光的方法，得到了厚度为10μm的均匀、平整的硅基薄膜，为制备微型压力传感器奠定了工艺基础，也可用于其他微机电系统（MEMS）压力传感器．
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