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为了研究微机械摩擦问题，设计了一组硅微弹簧摩擦力测试结构，并对其进行了静力学分析，导出系统弹性系数的计算方法，分析了强度及应力分布特点。对比ANSYS仿真结果，分析了两种分析方法的差异原因，得出微结构中拉簧测试微结构力学性能影响最大，弯簧根部应力最大，而拉簧直角拐弯处应力最大。
硅微弹簧—滑块摩擦力测试结构静力学分析
【摘 要】
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为了研究微机械摩擦问题，设计了一组硅微弹簧摩擦力测试结构，并对其进行了静力学分析，导出系统弹性系数的计算方法，分析了强度及应力分布特点。对比ANSYS仿真结果，分析了两种分析
【机 构】
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上海大学机电工程与自动化学院
【出 处】
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机电一体化
【发表日期】
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2002年2期
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