特征提取在激光散射扫描层析技术检测硅内部微体缺陷中的应用

来源 :光电工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:kangshuangming
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
提出了一种利用特征提取来对硅中微/纳米级体缺陷的激光散射图样进行分析,以获得缺陷大小信息的分析方法。给出了该方法中第一特征值和第二特征值的定义,指出通过所提出的第一特征值及第二特征值即可迅速地判断出缺陷的大小量级所在。这种分析方法具有分析速度快,在体缺陷小于1μm时分辨率高,且可使系统实现自动化等优点。
其他文献
抗日战争胜利前夕,在延安窑洞,中共诤友黄炎培与毛泽东促膝长谈。在谈论如何摆脱“其兴也浡焉……其亡也忽焉”这一历史周期率的制约时,毛泽东明确提出:“我们已经找到新路,
从2002年到2008年的5年间,Walter走过了一个不平凡的历程,实现了一个所有Walter人为之骄傲的目标——DIF(Double In Five),全球的业务翻了一番,市场表现令人瞩目。更好的产品,更好的
由于表面散射浊度测量具有测量范围度,线性度好等优点而受到人们的重视,但在连续检测中由于试样流速变化或试样表面张力变化而引起液面高度不同,导致浊度测量误差。本文提出了用
凭借业内最完备的产品线以及革命性的“数字工作台”解决方案,惠普工作站已获得国内各行业用户的广泛认可,奏响中国工作站市场的最强音。
6月下旬,记者来到秦巴山区的陕西省旬阳县采访。走近一个个绿树掩映的村庄,看到一座座钢筋水泥桥梁,每座桥头都刻有"中国老区建设项目"几个大字。副县长李萍告诉记者,在旬阳县,
研究一种适用于物理光学实验中信号接收及数据采集的图象探测系统。该系统以自扫描光电二极管列阵SSPA(Self Seanning Photodiode Array)作为光信号接收器件。以PC机作籽控制和信息处理部分,从而提高了物理光学
低信杂比下的小目标跟踪问题是目标跟踪领域中的难点,本文在理论分析的基础上提出了用小波多分辨力分析法跟踪低信杂比下的点目标,同时讨论了该方法与基于边缘检测的跟踪方法的
2008年2月18日,意大利众议院国防委员会通过了一项为其空军采购4架美国通用原子航空系统公司的“捕食者”B型无人机的提案,以补充现有的4架“捕食者”A型飞机机队。
8月29日上午,刚刚履新的河北省委书记张庆黎到西柏坡学习考察,回顾党带领人民进行伟大革命斗争的光辉历史,重温毛泽东主席在党的七届二中全会上提出的"两个务必"的重要论述,并
以DSP TMS320C6201为核心处理器,设计一种通用的实时图象处理系统。该系统可以满足当前的远程监控、电视电话、会议电视、道路交通管理等诸多视频/图象处理与传输领域应用的需求。文中对系统