【摘 要】
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本文采用了一种新的硫钝化方法处理GaAs/AlGaAs异质结台面型晶体管,大大改善了它的直流特性.并通过对其低温性能的研究和钝化过程的实时观测,证明了S2Cl2溶液能十分有效地改善GaA
【机 构】
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复旦大学应用表面物理国家重点实验室!上海,200433,复旦大学应用表面物理国家重点实验室!上海,200433,复旦大学应用表面物理国家重点实验室!上海,200433,东北林业大学物理系!哈尔滨,15
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本文采用了一种新的硫钝化方法处理GaAs/AlGaAs异质结台面型晶体管,大大改善了它的直流特性.并通过对其低温性能的研究和钝化过程的实时观测,证明了S2Cl2溶液能十分有效地改善GaAs的表面性质,从而降低了表面复合对器件性能的影响.这种钝化方法有可能发展成为GaAs器件制造中的一种实用钝化工艺.
In this paper, a new method of sulfur passivation is applied to the GaAs / AlGaAs heterojunction mesa transistor, which greatly improves its DC characteristics. Through the study of its low-temperature performance and the real-time observation of the passivation process, it was proved that the S2Cl2 solution can effectively improve the surface properties of GaAs, thus reducing the impact of surface recombination on device performance. This passivation method is likely to develop into a practical passivation process in the fabrication of GaAs devices.
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