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国内多晶硅厂家主要存在成本高、能耗大等问题。文章主要介绍了氯硅烷生产过程中的几种节能新技术：多效精馏、熟耦合精馏和热泵精馏技术。比较了这三种精馏方法在氯硅烷生产应用上的优缺点，并对氯硅烷提纯的发展方向进行了展望。
氯硅烷精馏节能工艺进展
【摘 要】
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国内多晶硅厂家主要存在成本高、能耗大等问题。文章主要介绍了氯硅烷生产过程中的几种节能新技术：多效精馏、熟耦合精馏和热泵精馏技术。比较了这三种精馏方法在氯硅烷生产应
【机 构】
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德山化工（浙江）有限公司技术开发部,四川理工学院材料与化学工程学院
【出 处】
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广东化工
【发表日期】
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2014年2期
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