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为在1995年初颁布一整套半导体制造群集工具标准,国际上正在积极努力。群集工具是指由全集成化独立加工的组件(组件且用机械方法连接在一起)构成的半导体制造设备。此标准的确立有利于提高半导体生产量和成品率以及提高制造的灵活性。负责拟
半导体制造群集工具国际系列标准即将问世
【摘 要】
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为在1995年初颁布一整套半导体制造群集工具标准,国际上正在积极努力。群集工具是指由全集成化独立加工的组件(组件且用机械方法连接在一起)构成的半导体制造设备。此标准的
【出 处】
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质量技术监督研究
【发表日期】
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1995年1期
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