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期刊论文
太阳能硅片切割工艺
太阳能硅片切割工艺
来源 :江南大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户:close_2003
【摘 要】
:
铸造级太阳能多晶硅由于其原料纯度和制备过程中容易引入碳及氮化物杂质,引起硅片切割过程中出现跳线和断线现象,从而造成破片率偏高.通过金相显微镜和场发射扫描电镜测试硅
【作 者】
:
封丽娟
【机 构】
:
国家硅材料深加工产品质量监督检验中心
【出 处】
:
江南大学学报(自然科学版)
【发表日期】
:
2014年6期
【关键词】
:
硅片
破片率
断面分析
工艺优化
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铸造级太阳能多晶硅由于其原料纯度和制备过程中容易引入碳及氮化物杂质,引起硅片切割过程中出现跳线和断线现象,从而造成破片率偏高.通过金相显微镜和场发射扫描电镜测试硅片碎裂处表观形貌,结合X-射线能量色散谱对其进行微区元素分析,以期从原材料选择到工艺优化等方面降低硅片的破片率.
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