【摘 要】
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为了在高功率体声波谐振器的设计中考虑自热效应的影响,提出一种声-电磁-热多物理场协同仿真方法,来模拟自热导致的频率偏移,并针对此频率偏移的消除问题,提出了相应的修正方
【机 构】
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西南科技大学信息工程学院,中国工程物理研究院电子工程研究所,中国科学院高能物理研究所核探测与核电子学国家重点实验室
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目(No.61574131);中国工程物理研究院超精密加工技术重点实验室基金资助项目(No.2014ZA001);核探测与核电子学国家重点实验室开放课题基金资助项目(No.2016KF-02)
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为了在高功率体声波谐振器的设计中考虑自热效应的影响,提出一种声-电磁-热多物理场协同仿真方法,来模拟自热导致的频率偏移,并针对此频率偏移的消除问题,提出了相应的修正方案。首先,由常用的Mason模型设计出满足谐振频率要求的初始谐振器。接着,通过声-电磁-热多物理场协同仿真得到自热导致的频率偏移。然后,初步调整压电层厚度,来抵消此频率偏移。最后,对调整后的谐振器迭代进行声-电磁-热多物理场协同仿真,以确定压电层厚度的调整量。结果表明:自热效应会导致高功率体声波谐振器的谐振频率明显下偏(谐振器案例的频率偏移量
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