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加速腔的机械制造过程中,产生的各种形变会使加速腔的谐振频率偏移目标频率,使得场分布不均,大大限制了加速梯度的提高,故而需要对加工好的加速腔的场分布进行测量和调整,针对北京大学射频超导实验室对多单元(cell)超导椭球加速腔以及轮辐(spoke)超导加速腔场分布的测量需求,在NI公司的LabVIEW8.5开发环境下,利用VISA与RS-232、GPIB接口通信实现了对电机的控制及矢量网络分析仪的数据读取,进而研制了一套用于微扰法的场分布测量系统,并对2cell加速腔进行了测量和误差分析。