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为研制一种轻质仿昆虫微扑翼飞行器,提出了采用微机电系统（MEMS）领域的SU-8光刻胶作为结构材料的制作方案.基于仿生学原理和微机电系统加工技术,设计微扑翼飞行器结构及MEMS工艺方法.研究结果表明,该种结构设计及制作方案满足设计要求,为仿昆虫微扑翼飞行器的研制提供了一种很好的途径.
基于MEMS技术的SU-8仿昆虫微扑翼飞行器设计及制作
【摘 要】
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为研制一种轻质仿昆虫微扑翼飞行器,提出了采用微机电系统（MEMS）领域的SU-8光刻胶作为结构材料的制作方案.基于仿生学原理和微机电系统加工技术,设计微扑翼飞行器结构及MEMS工
【机 构】
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上海交通大学微纳科学技术研究院微米／纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室,中国科学院沈阳自动化研究所机器人学国家重点实验室
【出 处】
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机器人
【发表日期】
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2011年3期
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