【摘 要】
：
采用磁控溅射法在Si（100）基板上沉积厚度为50nm的V、V-N和V/V-N扩散阻挡层,并在扩散阻挡层上制备了厚度为300nm的Cu薄膜,最终获得了Cu/V/Si、Cu/V-N/Si和Cu/V/V-N/Si 3种多层薄
论文部分内容阅读
采用磁控溅射法在Si（100）基板上沉积厚度为50nm的V、V-N和V/V-N扩散阻挡层,并在扩散阻挡层上制备了厚度为300nm的Cu薄膜,最终获得了Cu/V/Si、Cu/V-N/Si和Cu/V/V-N/Si 3种多层薄膜.薄膜样品在300-750℃真空热处理1h后,通过X射线衍射（XRD）仪、扫描电子显微镜（SEM）和四探针电阻测试（FPP）仪对薄膜样品的晶体结构、微观组织形貌和方块电阻进行测试表征,对比分析了V、V-N和V/V-N 3种扩散阻挡层的扩散阻挡性能.实验结果表明：V、V-N和V/V-N扩散
其他文献
现代教学理念强调学生的手、脑并用,要以"做"作为教学支点。以"反比例函数图象的平移"一课为例,聚焦探究教学、聚力数学实验,阐述探究实验教学的设计要点,并提出相关建议,希
<正>2018年初,全南县针对不赡养老人、赌博败家、好吃懒做等不良现象,率先常态化开展道德"红黑榜"评议发布活动,主动"亮剑"陈规陋习,积极弘扬平凡善举。一、背景情况随着脱贫
常压密闭取心过程中因孔隙体积变化、降压脱气等因素会导致油水饱和度损失,对水淹层必须校正饱和度损失量。分析了饱和度校正的四种方法：归一数理公式法、经验公式校正法、实
从湿地公园规划设计中存在的问题出发,总结地域特色景观的概念,研究地域特色景观在湿地公园中的营造手法,并得出3个营造要点,即遵从自然环境,创造宜人的游憩空间;传承地域文
语言与文化紧密联系,语言是文化的载体,反映文化的特征。词汇是语言的基本单位,影响着英语听、说、读、写能力的形成。高职英语词汇教学的现状是教师教会学习拼读单词、讲解
运筹学方法论的一个基本特点是在一组约束条件下使某些设计参数最优化。运筹学在矿业中的应用领域包括以下10个方面。生产规划/进度表矿山生产规划是运筹学应用最普遍的领域
<正> 他莫昔芬(tamoxifen,TMX)又称三苯氧胺,是一种抗雌激素类药物。1963年英国首先合成,为白色或淡黄色粉末,无臭,溶于甲醇和乙醇,难溶于水。单次口服10mg/m~2,血浓度可达14
立山区地税局在2012年一至三季度，克服各种困难和不利因素，局长亲临税收一线，为了实现组织收入的科学化、精细化、规范化，从“抓龙火、控源头、捕势头”三个方面下功夫，全局上下齐
在投资项目风险评估时可能要实现多个目标的优化,而每个目标都有自己的评价指标体系。对此,本文提出了一种多目标下的投资项目风险评价方法,包括指标数据的预处理、分配指标
目的研究卡马西平缓释片的处方组成与制备工艺，并对其缓释质量进行评价。方法利用丙烯酸树脂、HPLC等为辅料制备卡马西平缓释片。考察辅料、压力等多种因素对溶出度的影响。结