【摘 要】
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在不同温度下(200～ 800 ℃) 将高功率准分子激光溅射方法沉积的类金刚石膜进行退火实验. 利用Raman和XPS光谱分析类金刚石膜在退火过程中的化学键合结构变化. 结果表明, 类金
【机 构】
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延边大学理工学院,吉林大学超硬材料国家重点实验室
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在不同温度下(200～ 800 ℃) 将高功率准分子激光溅射方法沉积的类金刚石膜进行退火实验. 利用Raman和XPS光谱分析类金刚石膜在退火过程中的化学键合结构变化. 结果表明, 类金刚石膜是由少量的sp2 C键和大量的sp3 C键组成的非晶态碳膜. 在退火温度小于600 ℃范围内, 类金刚石膜的热稳定性较好; 退火温度高于600 ℃时, 类金刚石膜中的sp3 C键逐渐向sp2 C键转变, 当退火温度升到800 ℃时, 类金刚石膜中sp3 C键含量由退火前的大约70%下降到40 %. 可见, 高温退火能
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