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准分子激光步进机在其实用价值方面已达到成熟阶段。本文对大视场大ＮＡ透镜的开开和０．３５μｍ及其以下的成像特征尺寸进行了说明，准分子激光器在其生产性、稳定性、可靠性、安全性和使用成本等方面已达到实用阶段。准分子激光步进机设备的综合控制问题例如：聚焦、曝光和套刻稳定性等已经得到解决。
一种具有实用价值的准分子激光步进机的设计及其特性
【摘 要】
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准分子激光步进机在其实用价值方面已达到成熟阶段。本文对大视场大ＮＡ透镜的开开和０．３５μｍ及其以下的成像特征尺寸进行了说明，准分子激光器在其生产性、稳定性、可靠性、安全性和使用
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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1995年3期
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