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本文介绍了首次采用光辐射显微技术对半导体器件进行失交分析和缺陷定位的应用实例，分析过程快速、简便失效定位准确、直观，显示了光辐射显微技术在失效分析，尤其是失效一位方面的优越功能。
光辐射显微技术在器件失效定位中的应用
【摘 要】
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本文介绍了首次采用光辐射显微技术对半导体器件进行失交分析和缺陷定位的应用实例，分析过程快速、简便失效定位准确、直观，显示了光辐射显微技术在失效分析，尤其是失效一位方面
【机 构】
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电子部五所分析中心,广州中国电子产品可靠性与环境试验研究所
【出 处】
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电子产品可靠性与环境试验
【发表日期】
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1997年3期
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