【摘 要】
：
利用MBE外延材料和接触式光学光刻方式,成功制备出1.0μm栅长GaAs基MHEMT器件,分别蒸发Pt/Ti/Pt/Au和Ti/Pt/Au作为栅电极金属.获得了优越的DC和RF性能,Pt/Ti/Pt/Au和Ti/Pt/Au
【机 构】
：
中国科学院微电子研究所,中国科学院物理研究所
【基金项目】
：
国家重点基础研究发展规划（批准号：G2002CB311901）,装备预先研究基金（批准号：61501050401C）和中国科学院微电子研究所所长基金（批准号：06SB124004）资助项目
论文部分内容阅读
利用MBE外延材料和接触式光学光刻方式,成功制备出1.0μm栅长GaAs基MHEMT器件,分别蒸发Pt/Ti/Pt/Au和Ti/Pt/Au作为栅电极金属.获得了优越的DC和RF性能,Pt/Ti/Pt/Au和Ti/Pt/Au MHEMT器件的gm为502（503）mS/mm,JDSS为382（530）mA/mm,VT为0.1（-0.5）V,fT和fmax分别为13.4（14.8）,17.0（17.5）GHz.利用单片集成增强/耗尽型GaAs基MHEMT器件制备出九阶环型振荡器,直流电压为1.2V时,振荡频率
其他文献
为实现实时采集湿度变化的数据,用石英晶体微天平传感器、数据采集卡等构建湿度传感器测试系统。该系统具有灵敏度高、结构简单的优点。利用该系统作为测试平台,以纳米ZnO作为敏感膜,采用热蒸发方法制备纳米ZnO.该方法简单、易操作,制得的纳米ZnO具有四脚状,各方向针脚长度均匀。
提供了一种利用物理蒸发沉积技术在单晶硅上生长纳米尺度的MnSb薄膜的方法.X射线衍射分析表明薄膜的主要成分是MnSb合金.场发射扫描电镜观察到薄膜是由纳米尺寸的棒状物和叶
针对步进电机驱动、精密定位平台传动、直线光栅传感器测量拉伸位移、电阻应变力传感器测量拉伸力的高分辨率薄膜材料拉伸机,运用编程软件LabVIEW设计出一款基于数据采集卡USB6009的虚拟仪器。它能够实现光栅信号四倍频细分、辨向、可逆计数,自动采集处理保存传感器数据,还能发出脉冲信号和电平信号来分别控制步进电机的转速与转向,从而能够真正实现高分辨率自动化测试。
研究了表面化学镀前处理工艺中活化条件（如活化时间、活化温度、活化pH值）对PS微球镀镍层的致密性、均匀性、导电性的影响,对活化后的PS微球进行了SEM和导电性测试。结果表明,
设计了一个能够实时监测油田油压和温度,且自动存储测试数据的智能型测试仪。由压力传感器PTP501采集到的模拟信号经仪表放大器AD620放大后,送入单片机P89LPC938进行模/数转
【正】同学们都知道锋面、气旋和反气旋两大类天气系统的特点,然而对于锋面气旋系统,课本中仅仅简单地提到它的概念和一幅锋面气旋图,这使有的同学对其形成、发展和消亡的过
微生物对外界环境的变化具有灵活的适应性,通过代谢网络的通量可变性分析可以对代谢灵活性进行量化,得到影响菌体代谢灵活性的因素。使用代谢流分析软件COBRA Toolbox,对克雷
通过求解泊松方程得到了双栅肖特基势垒MOSFET的解析模型. 这个解析模型包括整个沟道的准二维电势分布和适用于短沟双栅肖特基势垒MOSFET的阈值电压模型.数值模拟器ISE DESSI
用斜置式四探针测定了硅单晶片（Ф75mm）上3mm间距测试点的电阻率分布.本文从电阻率的统计分布出发,确定了电阻率的分隔数和差值,采用指数函数作为模糊集的隶属度,并且选择合适