论文部分内容阅读
采用Ｇｅ／Ｎｉ／ＴｉＷＮ／Ａｕ多层金属化结构与ｎ－ＧａＡｓ的固－固相反应来获得理想的欧姆接触性能。经６００℃热处理或获得７．３×１０＾－＾７Ω．ｃｍ的最小接触电阻率，俄歇能谱分析表明ＴｉＷＮ与Ａｕ之间，以及它们与ＧａＡｓ界面之间的互扩散较小，具有良好的热稳定性。
具有热稳定性的Ge／Ni／TiWN／Au与n—GaAs接触性能的研究
【摘 要】
：
采用Ｇｅ／Ｎｉ／ＴｉＷＮ／Ａｕ多层金属化结构与ｎ－ＧａＡｓ的固－固相反应来获得理想的欧姆接触性能。经６００℃热处理或获得７．３×１０＾－＾７Ω．ｃｍ的最小接触电阻率，俄歇能谱分析表明ＴｉＷＮ与Ａｕ之间，以及它们与ＧａＡｓ界面之间的互扩散较小，具有良好的
【机 构】
：
南京电子设备研究所,南京大学
【出 处】
：
半导体技术
【发表日期】
：
1994年5期
其他文献
讨论了ＭＯＣＶＤ外延膜Ｘ射线衍射摇摆曲线中干涉指纹的各种特征。指出了由干涉指纹测定薄膜最度的精确性。研究了影响干涉指纹的，为正确识辨材料结构和改进生长工艺提供方便。
组织学与胚胎学是一门重要的医学基础学科,目前高等医学院校的课堂教学仍是教学的主要形式,其内容抽象,名词繁多,结构复杂,所描述的结构在宏观条件下无法直接观察到,并且老师
介绍了ＩＧＢＴ的结构设计及终端设计，利用ＳＤＢ技术制备所需Ｎ＾－Ｎ＾＋Ｐ＾－基片，设计了合适的工艺流程，制备出１０００Ｖ／２０Ａ的ＩＧＢＴ器件。最后给出测试结果。
目的探讨吸入噻托嗅胺对慢性阻塞性肺疾病（COPD）患者的治疗作用。方法将20例COPD患者随机分成2组,治疗组给予噻托嗅铵吸入,对照组给予常规治疗,比较2组治疗前后肺功能、6min步
综述了近年来无卤阻燃ABS的最新研究进展,比较了无机、磷系、膨胀型、含Si化合物类及纳米阻燃剂阻燃ABS的阻燃效果。发现膨胀型阻燃剂和纳米阻燃剂与其他阻燃剂复配具有较为
以蒸馏水与钛酸丁酯的物质的量比、模版剂与钛酸丁酯的物质的量比、焙烧温度和焙烧时间为影响因素,设计L9（34）正交实验,利用溶胶-凝胶法结合模板技术制备多孔TiO2粉体,以甲基橙
2010年6月下旬以来,全国各地生猪收购价格已回到养猪户成本价附近或以上。持续了两个多月的＂卖只猪得亏上百元＂的销售低谷终于画上了休止符。生猪价格在2010年经历了7月的高涨
宫颈上皮内瘤样病变（CIN）是宫颈癌前期病变的一个过程，早期发现、早期治疗CIN，可降低宫颈癌的发生率。本院自2005年7月-2007年3月，通过薄层液基细胞学（TCT）、阴道镜检查及镜下活检，行
研究了剥离在平坦化的双层金属布线中的应用情况,采用等离子氮化硅膜为剥离衬底,并将其作为下层铝及台阶的隔离物/填充物.SEM分析表明,通过选取合适的衬底参数及剥离等处理条