【摘 要】
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为提高等离子体密度和工质气体电离率,本文采用螺旋天线产生的螺旋波激励Ar等离子体,并利用射频补偿Langmuir探针分析了等离子体的离子密度和电子温度特征.试验结果表明,气压增加的同时,随着功率的升高,螺旋波等离子体出现放电模式转换,提前进入螺旋波放电模式.在1.0 Pa压强下,当射频功率达到400 W时,等离子体进入螺旋波放电模式,此时扩展区域的等离子体密度超过1×1018m-3.电子密度在放电管中心区域最高,并沿径向逐渐降低.本文的研究结果将为大体积H2螺旋波等离子体提供依据和经验.
【机 构】
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成都大学机械工程学院,成都610106;四川大学原子核科学技术研究所,成都610064
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为提高等离子体密度和工质气体电离率,本文采用螺旋天线产生的螺旋波激励Ar等离子体,并利用射频补偿Langmuir探针分析了等离子体的离子密度和电子温度特征.试验结果表明,气压增加的同时,随着功率的升高,螺旋波等离子体出现放电模式转换,提前进入螺旋波放电模式.在1.0 Pa压强下,当射频功率达到400 W时,等离子体进入螺旋波放电模式,此时扩展区域的等离子体密度超过1×1018m-3.电子密度在放电管中心区域最高,并沿径向逐渐降低.本文的研究结果将为大体积H2螺旋波等离子体提供依据和经验.
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