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通过对化学表面修正前后的氮氧化硅复合膜的表面电导率的测量和电荷横向扩散效应的考察,讨论了化学表面修正工艺对样品中电荷横向扩散的抑止作用.借助与未经平面工艺处理的氮氧化硅复合膜大片的对比,研究了这类驻极体功能膜的微型化对其电荷寿命的影响.
用作Si基微型传声器中驻极体层的电荷寿命及其表面电导
【摘 要】
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通过对化学表面修正前后的氮氧化硅复合膜的表面电导率的测量和电荷横向扩散效应的考察,讨论了化学表面修正工艺对样品中电荷横向扩散的抑止作用.借助与未经平面工艺处理的氮
【机 构】
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同济大学
【出 处】
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功能材料
【发表日期】
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2004年z1期
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目(50073016),德国大众汽车基金会资助的中德合作课题项目(Ref.I/77365)
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