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微细磨粒砂轮的试验研究是当前砂轮试制的主要发展趋势。本文叙述了超微细磨粒的电泳特性，并利用该特性试验研制一种新型的高密度低结合度超微细磨粒电泳砂轮，在ＭＭ７１２０Ｈ精密磨床上，应用该砂轮对单晶硅片进行实际磨削加工，试验结果表明，通过控制磨削参数，可以降低工件表面粗糙度。
电泳砂轮加工机理及其试验研究
【摘 要】
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微细磨粒砂轮的试验研究是当前砂轮试制的主要发展趋势。本文叙述了超微细磨粒的电泳特性，并利用该特性试验研制一种新型的高密度低结合度超微细磨粒电泳砂轮，在ＭＭ７１２０Ｈ精密磨床上，应用
【机 构】
：
浙江工业大学机电工程学院
【出 处】
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浙江工业大学学报
【发表日期】
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1998年1期
【基金项目】
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国家自然科学基金!59575070,浙江省自然科学基金!595081
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