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蒿2DEG电子迁移率的GaAs基GaAsPHEMT材料的制备
蒿2DEG电子迁移率的GaAs基GaAsPHEMT材料的制备
来源 :科学与财富 | 被引量 : 0次 | 上传用户:planet0371
【摘 要】
:
设计并采用优化的MBE工艺制备了GaAsPHEMT结构材料,运用非接触霍尔、霍尔等测试方法研究了影响p。和ns的主要因素,优化了OaAs基GaAsPHEMT材料结构,使其u。×n。达到了2.52
【作 者】
:
贾月辉
贺舜
刘希萌
李明媚
曹虹
【机 构】
:
天津大学仁爱学院
【出 处】
:
科学与财富
【发表日期】
:
2011年10期
【关键词】
:
赝配高电子迁移率晶体管
分子束外延
非接触霍尔测试
二维电子气电子迁移率
二维电子气面密度
GaAs PHEMT
MBE
contactless Hall
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设计并采用优化的MBE工艺制备了GaAsPHEMT结构材料,运用非接触霍尔、霍尔等测试方法研究了影响p。和ns的主要因素,优化了OaAs基GaAsPHEMT材料结构,使其u。×n。达到了2.52×10^18/v·S。
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