蒿2DEG电子迁移率的GaAs基GaAsPHEMT材料的制备

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设计并采用优化的MBE工艺制备了GaAsPHEMT结构材料,运用非接触霍尔、霍尔等测试方法研究了影响p。和ns的主要因素,优化了OaAs基GaAsPHEMT材料结构,使其u。×n。达到了2.52×10^18/v·S。
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