【摘 要】
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ITO靶材中氧含量的理论值为 17 66% (重量百分比 )。在成型过程中 ,因工艺条件的不同 ,各类靶材会有不同程度的失氧 ,失氧量的多少决定着其性能的优劣。本文将探讨EPMA测量IT
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ITO靶材中氧含量的理论值为 17 66% (重量百分比 )。在成型过程中 ,因工艺条件的不同 ,各类靶材会有不同程度的失氧 ,失氧量的多少决定着其性能的优劣。本文将探讨EPMA测量ITO靶中氧含量时所遇到的问题 ,针对ITO靶材材质自身的特点 ,采用不同于传统EPMA测量方法 ,准确地测量了ITO靶材中的氧含量。本方法的主要特征为 :不作基质修正 ,考虑晶体结构带来的影响而引入密度修正。
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