【摘 要】
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本文采用单片热壁反应炉在偏4°斜切150mm 4H-SiC衬底上进行同质外延生长.首先,通过不引入基座旋转进行外延生长,分别测量出水平和垂直于气流方向上外延厚度和浓度分布,确认了生长源和N型掺杂源在晶片上的耗尽方式.其次,通过引入基座旋转进行外延生长,分别测量出外延层厚度和浓度的分布情况.最后,通过调整载气比例来改善外延层厚度分布,所得6英寸的4H-SiC外延层厚度均匀性为0.30％(sigma/mean),通过优化掺杂源分配等方式来改善浓度均匀性,所得外延层浓度均匀性为4.52％(sigma/mean)
【机 构】
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瀚天天成电子科技(厦门)有限责任公司 福建厦门 361101
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本文采用单片热壁反应炉在偏4°斜切150mm 4H-SiC衬底上进行同质外延生长.首先,通过不引入基座旋转进行外延生长,分别测量出水平和垂直于气流方向上外延厚度和浓度分布,确认了生长源和N型掺杂源在晶片上的耗尽方式.其次,通过引入基座旋转进行外延生长,分别测量出外延层厚度和浓度的分布情况.最后,通过调整载气比例来改善外延层厚度分布,所得6英寸的4H-SiC外延层厚度均匀性为0.30％(sigma/mean),通过优化掺杂源分配等方式来改善浓度均匀性,所得外延层浓度均匀性为4.52％(sigma/mean),该结果为大尺寸4H-SiC外延批量性生产奠定了基础.
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