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用辅以动态氮离子轰击的氩离子束溅射沉积方法，在３０４不锈钢基材上沉积聚四氟乙烯薄膜。经ＸＰＳ和ＩＲＳ分析，确定了聚四氟乙烯膜的存在并进行了结构分析。划痕试验表明：这种方法制成的聚四氟乙烯膜与基材之间有较好的结合力。
辅以动态氮离子轰击的氩离子束溅射沉积PTFE高分子膜
【摘 要】
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用辅以动态氮离子轰击的氩离子束溅射沉积方法，在３０４不锈钢基材上沉积聚四氟乙烯薄膜。经ＸＰＳ和ＩＲＳ分析，确定了聚四氟乙烯膜的存在并进行了结构分析。划痕试验表明：这种方法制成的聚四氟乙
【机 构】
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大连理工大学三束材料改性国家重点实验室
【出 处】
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大连理工大学学报
【发表日期】
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1997年2期
【基金项目】
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核工业总公司“八五”科技攻关项目
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