【摘 要】
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美国莫托洛拉公司制作了高性能CMOSSRAMc其晶体管长度为O．15mp，采用最佳接触和铜布线技术。用铜布线替代铝布线可大幅度提高加工速度、可靠性。由于采用微细化加工技术，SRAM单元
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美国莫托洛拉公司制作了高性能CMOSSRAMc其晶体管长度为O．15mp，采用最佳接触和铜布线技术。用铜布线替代铝布线可大幅度提高加工速度、可靠性。由于采用微细化加工技术，SRAM单元约减小35％，芯片达到小型化。同时，由于微细化而提高了电流密度。由于铜融点高，所以与铝相比，电流密度可保持在10倍以上，同时也提高了可靠性。本公司已采用此工艺制作4MSRAM，并逐渐应用于下一代服务程序，工作站等方面。莫托洛拉采用铜布线技术制作高速SRAM
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