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讨论了对发射电子束具有聚焦作用的场发射阵列，并制作了样管，为了抑制发射电子束的发散，采用电子束聚焦的方法，文中给出了三种结构的聚焦方案，开发的透明电阻层Ｎｉ－ＳｉＯ２保证了聚焦孔的刻蚀精度。
有电子束聚焦作用的场发射阵列
【摘 要】
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讨论了对发射电子束具有聚焦作用的场发射阵列，并制作了样管，为了抑制发射电子束的发散，采用电子束聚焦的方法，文中给出了三种结构的聚焦方案，开发的透明电阻层Ｎｉ－ＳｉＯ２保证了聚焦孔的刻蚀
【机 构】
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清华大学电子工程系
【出 处】
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真空科学与技术
【发表日期】
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2000年5期
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