【摘 要】
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本文提出一种矩形孔菲涅尔微透镜阵列。这些微透镜阵列的制作采用了专为制造微光学元件而研制的电子束写入系统。实验表明,这种透镜阵列具有聚焦均匀的特性,以及每一透镜具有
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本文提出一种矩形孔菲涅尔微透镜阵列。这些微透镜阵列的制作采用了专为制造微光学元件而研制的电子束写入系统。实验表明,这种透镜阵列具有聚焦均匀的特性,以及每一透镜具有衍射限聚焦特性,其效率为74％。
This paper presents a rectangular aperture Fresnel microlens array. These microlens arrays were fabricated using an electron beam writing system developed for the fabrication of micro-optical elements. Experiments have shown that this lens array has a uniform focusing property and each lens has a diffraction-limited focusing characteristic with an efficiency of 74%.
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