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期刊论文
MOS器件加固技术的理论研究
MOS器件加固技术的理论研究
来源 :原子能科学技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:marsxwj
【摘 要】
:
对具有侧向寄生晶体管的NMOSFET进行二维数值模拟,探讨了掺杂浓度、辐照偏压以及鸟嘴形状3个关键参数对于器件抗总剂量辐射加固性能的影响.分析得出,增加鸟嘴和场氧区下的掺
【作 者】
:
罗尹虹
张正选
姜景和
姚育娟
何宝平
王桂珍
彭宏论
【机 构】
:
西北核技术研究所
【出 处】
:
原子能科学技术
【发表日期】
:
2002年3期
【关键词】
:
MOS器件
加固技术
抗辐射加固
掺杂浓度
辐照偏压
鸟嘴形状
抗辐射能力
晶体管
radiation hardening
doping level
gat
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对具有侧向寄生晶体管的NMOSFET进行二维数值模拟,探讨了掺杂浓度、辐照偏压以及鸟嘴形状3个关键参数对于器件抗总剂量辐射加固性能的影响.分析得出,增加鸟嘴和场氧区下的掺杂浓度、降低辐照栅电压、减小鸟嘴斜率均将有助于降低寄生泄漏电流,提高抗辐射能力.
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