【摘 要】
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1晶体硅材料和硅片研究进展1.1晶体硅材料发展概况硅材料是半导体工业中最重要且应用最广泛的半导体材料,是微电子工业和光伏产业的基础材料,具有含量丰富、化学稳定性好、无
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1晶体硅材料和硅片研究进展1.1晶体硅材料发展概况硅材料是半导体工业中最重要且应用最广泛的半导体材料,是微电子工业和光伏产业的基础材料,具有含量丰富、化学稳定性好、无污染等优点。硅材料有多种晶体形式,包括单晶硅、多晶硅和非晶硅,应用于光伏领域的主要包括直拉单晶硅、薄膜非晶硅、铸造多晶硅、带状多晶硅等硅材料[1]。其中,直拉单晶硅和铸造多晶硅应用最为广泛,占太阳电池光伏材料90% 以上的市场份额。
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