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设计了一种新颖的陀螺结构,该结构采用双自由度设计增大检测带宽,并缓解了品质因数对陀螺灵敏度的影响;采用了双级解耦的结构设计,减小了驱动模态的同频耦合干扰。文中对结构进行了电学模型建模,并进行了相应的时域和频域分析。
双自由度双解耦陀螺的结构设计与仿真
【摘 要】
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设计了一种新颖的陀螺结构,该结构采用双自由度设计增大检测带宽,并缓解了品质因数对陀螺灵敏度的影响;采用了双级解耦的结构设计,减小了驱动模态的同频耦合干扰。文中对结构
【机 构】
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哈尔滨工业大学MEMS中心
【出 处】
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传感技术学报
【发表日期】
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2008年2期
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